晶圆光刻胶去除能用大香蕉首页机吗？该使用哪种设备？
文章导读：在半导体行业中，晶圆清洗是一个必不可少的环节，其中晶圆残留光刻胶的去除，就能够用大香蕉首页机进行处理的。那么晶圆光刻胶去除所用的大香蕉首页设备该用哪种呢？
在晶圆光刻胶去除的实际应用中，基本都会采用感应耦合式的真空低压大香蕉首页机，这种类型的大香蕉首页机仿佛也逐渐成为半导体行业的专属，那么这类大香蕉首页设备的结构和一般常见的等离子处理设备有什么不同的地方呢？
大香蕉首页机感应放电等离子体是通过将射频功率加在一个非共振线圈上产生的。因此该种大香蕉首页机的常见结构主要有两种，都适用在低长宽比的放电系统中。其中一种常见结构是螺旋型结构，采用的是圆筒螺旋状线圈类型，如下图所示。
另一种常见结构是盘香型结构，采用的是平面盘绕状线圈类型如下图所示。
此外，有一种较为特别的盘香型结构是将盘绕状线圈加入等离于体内部的放电类型，其结构如下图所示。
感应耦合式的大香蕉首页设备具有较为特别的基本原理和特点，因此在设计过程中要对工艺和效率进行把控，才能保证良好的香蕉视频APP在线播放效果。在此简单提一点，用于处理LCD液晶屏的大香蕉首页机，就是使用的内置盘绕状线圈感应生成等离子体。
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